干式真空泵主要在半導(dǎo)體工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜工業(yè)已應(yīng)用于發(fā)展。國(guó)外干式真空泵市場(chǎng)正處于蓬勃發(fā)展的階段。例如，在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已經(jīng)使用干式真空泵代替油封機(jī)械泵，而歐洲和美國(guó)超過(guò)45%的半導(dǎo)體行業(yè)使用干式真空泵代替油封機(jī)械泵，這比較大的提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。過(guò)去，半導(dǎo)體行業(yè)的油封機(jī)械泵使用惰性氟油潤(rùn)滑，以防止腐蝕性氣體侵蝕油，但氟油非常昂貴，維護(hù)成本也很高。因此，干式真空泵逐漸的在各行各業(yè)中發(fā)展起來(lái)。

　　采用干式真空泵，泵內(nèi)不僅無(wú)潤(rùn)滑油，而且無(wú)廢液處理問(wèn)題。但泵腔內(nèi)無(wú)油，使泵腔內(nèi)間隙無(wú)法保持密封，也失去了溫度控制的傳熱介質(zhì)，對(duì)干式真空泵帶來(lái)了巨大挑戰(zhàn)。部分真空泵由兩臺(tái)電機(jī)同步驅(qū)動(dòng)，確保泵運(yùn)行時(shí)無(wú)部件接觸，無(wú)密封設(shè)計(jì)，確保無(wú)泄漏，滿足新的ATEX防爆規(guī)定的要求。由于能保持最小的內(nèi)部溫度，可控制泵氣體的冷凝和腐蝕可能造成的損壞效應(yīng)，易于輸送腐蝕介質(zhì)，安全輸送易燃易爆氣體。

　　干式真空泵在半導(dǎo)體行業(yè)的成功應(yīng)用也鼓勵(lì)干泵制造商將干泵引入化工行業(yè)。雖然干泵價(jià)格昂貴，但運(yùn)行成本較低，特別是無(wú)廢液處理問(wèn)題，對(duì)環(huán)境和健康非常有益。目前，有許多類型的干泵，包括渦旋泵、隔膜泵、干旋片泵、羅茨干泵、爪干泵和螺桿真空泵。羅茨干泵、爪干泵和螺桿真空泵在化工行業(yè)的應(yīng)用中占主導(dǎo)地位。

　　在制藥行業(yè)的溶劑回收中，由羅茨泵和螺桿真空泵組成的干燥真空系統(tǒng)可以在排氣側(cè)冷凝干燥過(guò)程中的有機(jī)溶劑，實(shí)現(xiàn)溶劑的回收。由于干式真空泵腔內(nèi)沒(méi)有其他工藝介質(zhì)，節(jié)能環(huán)保，無(wú)廢液處理問(wèn)題，溶劑可全部回收。因此，干式真空泵已成為該應(yīng)用領(lǐng)域的較佳選擇。

　　在石化行業(yè)汽油蒸汽回收方面，干式真空泵是汽油蒸汽回收裝置中的關(guān)鍵設(shè)備。抽氣為揮發(fā)性汽油蒸汽，主要成分為C4.C5.C6等汽油蒸汽。油氣回收裝置采用活性吸附，實(shí)現(xiàn)油氣中烴類成分與空氣的分離，達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。活性炭的再生是通過(guò)真空解吸來(lái)實(shí)現(xiàn)的，以達(dá)到回收利用的目的。真空油氣通過(guò)汽油噴霧吸收將油氣轉(zhuǎn)化為汽油并回收利用。

　　隨著我國(guó)對(duì)環(huán)境保護(hù)的日益重視，國(guó)家或行業(yè)制定了各種法律、標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定，嚴(yán)格限制汽油和蒸汽的排放，要求儲(chǔ)油庫(kù)和加油站必須增加油氣回收裝置，并符合排放濃度為25g/m3、油氣處理效率為95%的標(biāo)準(zhǔn)。

　　因此，干式真空泵在各行各業(yè)的發(fā)展前景非常長(zhǎng)遠(yuǎn)。以上就是淄博沃德氣體設(shè)備有限公司小編整理的干式真空泵的工作原理與目前的市場(chǎng)前景的相關(guān)內(nèi)容，希望對(duì)您有所幫助，淄博沃德期待您的來(lái)電與合作。