干式真空泵（也稱干式機械泵）是指泵在正常壓力下可啟動抽氣，可將吸入的氣體直接排入大氣腔，泵腔內無油或其他工作介質，壓力等于或接近油封真空泵的機械真空泵。

　　截止2013年，真空行業(yè)應用的干式真空泵大部分選用油、水或別的高聚物等原材料原料做為泵的工作媒介，在泵內具備生產制冷、密封性、潤滑油等多種多樣作用。伴隨著科學研究的發(fā)展趨勢和真空應用行業(yè)的擴張，原來的機械裝置真空泵及其排風系統(tǒng)軟件有二種急需解決的難題：一是泵的工作媒介反流，污染被抽容器，而這類反流在許多狀況下，會危害商品的品質和總數(shù)，提升機器設備的維護保養(yǎng)成本費。次之，真空泵中的媒介因為一些全過程中的反應物而比較嚴重變質，使泵沒法正常工作。

　　對于一般的無油真空系統(tǒng)來說，不能完全解決問題，使系統(tǒng)變得復雜，盡管油封真空泵和冷卻陷阱或吸附陷阱等附件可以用來防止回流。使用適當類型的干式真空泵可以達到預期的效果。

　　干式真空泵應用廣泛，主要表現(xiàn)在以下幾個方面：

　　1、多晶硅制備工藝的低壓化學氣相沉積；

　　2、半導體蝕刻工藝。干式真空泵或產生腐蝕性氣體和磨料顆粒常用于這些生產過程；

　　3、半導體工藝之外的一些會產生顆粒的工藝，預計顆粒不會混入干式真空泵的泵油中，有望排出泵內顆粒，部分干式機械真空泵可以滿足要求；

　　4、干式真空泵應用于化工、醫(yī)藥、食品等行業(yè)的蒸餾、干燥、脫氣、包裝、醫(yī)藥、食品等行業(yè)的蒸餾、干燥、脫氣；

　　5、一般無油潔凈真空系統(tǒng)使用干式真空泵，防止油污。

　　干式真空泵分為許多不同類型的設備，以滿足不同的使用要求。在各個方面，下面將介紹如何正確選擇它們。

　　干式真空泵，我們總渴望能夠減小其物理尺寸。但這與真空泵的抽吸速度相矛盾，干式真空泵的抽吸速度與容積是成正比的。物理尺寸小，就意味著容積也小，當然影響干式真空泵抽吸速度的還有一個重要因素就是速度。要想讓小型真空泵的抽吸速度與大型真空泵的抽吸速度相匹配，就需要提升速度。改變干式真空泵轉速的方法有兩種，一種是改動電源的頻率，也就是用變頻器；另一種是改變變速器的傳動比。其中，用變頻器的好處是可以提供閉環(huán)控制，但在重負荷時很容易造成轉矩損失。改變變速器的傳動比是一種很經濟的方法，當然只能提供單速，不能控制。

　　干式真空泵的錯誤會降低機器效率，影響晶圓生產和交付，乃至會造成晶圓廢棄物和別的零部件的加工損壞。因為螺桿設計選用單級設計，所應用的零部件數(shù)與滾珠槽、爪形、組合等多級泵對比可降低60%。這針對干式真空泵的平穩(wěn)性和將來的維護保養(yǎng)費用而言是挺大的優(yōu)點。

　　一般來說，內壓螺絲干式真空泵的選擇可能是一個很好的選擇，如果用戶覺得功耗對他來說很重要，氮含量對他來說也不重要。但總的來說，對廢氣處理的要求越來越嚴格，以后減少氮的使用尤為重要。如果你想處理各種半導體工藝而不使用簡單的庫存控制泵來改變它們，外壓縮螺絲干式真空泵是一個不錯的選擇。

　　結合以上所有設計類型的優(yōu)勢是理想的，具體要看具體情況，但目前還是不可能的。所以用戶需要了解干式真空泵的設計類型，再根據(jù)自己的工藝特點了解不同類型泵設計的效果。這樣的選擇可以降低干式真空泵的使用成本，獲得更長的使用壽命和穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。